リペア

デバイス製造工程でダメージを受けたウェハチャックを、豊富なセラミックスの知識と加工技術をもとに新品と遜色ない状態に再現するサービスです。表面や劣化部分、エアーリークの修復、リペア前後の検査体制により、高額なチャック製品の長期活用と大幅なコストダウンを実現します。