ウェハチャック

半導体製造工程で、基盤となるシリコンウェハを固定するための高精度な部品です。過酷な環境下において耐摩耗性や耐腐食性に優れるセラミックスが使用されています。

製品には、ウェハの形状に応じてチャック形状を調整でき、12inchサイズで平面度0.2μm以下を実現する「真空チャック（ピンチャック/ポーラスチャック）」に加え、シリコンウェハの表面温度を均一に保ちながら静電気の力を利用して吸着させる「静電チャック」があります。お客さまの要求に合わせた製品を開発し、試作段階から提供します。