スパッタリングターゲット

微細で均一な金属組織と表面状態の最適化により、パーティクルを低減するチタンやニッケルなどのスパッタリングターゲットです。各社の製造装置に対応するターゲットを提供します。また、スパッタリング装置の構成部品である防着板の長寿命化や、歩留まり向上を実現するコーティング処理も行い、金属溶射からセラミックスまで最適な仕様を提案します。